据央视新闻,阛阓监管总局近日批准新建二维线纹基准安装,填补我国校准影像测量仪、光学显微镜等光学精密测量斥地和高精度光刻机母版制造斥地的二维线纹尺度器的测量能力空缺,中枢技艺竣事填塞自主可控。二维线纹基准安装测量鸿沟为320mm×320mm,最优测量不细目度仅28nm裸体,相当于头发丝直径的2500分之一。该基准安装主要特色是大鸿沟、微尺寸、多参量,可为二维尺寸、位置及体式提供量值溯源,达到海外先进水平。该基准安装有助于处分亚微米、纳米级光刻机母版的二维线纹“测不准”的清贫,为电子通讯、轨说念交通、航空航天、医疗斥地等高端制造鸿沟精密加工和测量斥地提供技艺撑持和保险。
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